

תחריט כימי בסיוע מתכת (MACE) הוא שיטת צריבה רטובה אנטיסו-טרופית שפותחה לאחרונה המסוגלת לייצר מבנים ננו-מוליכים למחצה ביחס רוחב-גובה מסרט מתכת מעוצב.
במודל מקובל המתאר את תהליך ה- MACE, ה-מחמצןעדיף להיות מופחת על פני השטח שלזרז מתכת, וחורים (h +) מוזרקים מזרז מתכת ל Si או שמעבירים אלקטרונים (e−) מ- זרז מתכתי. Si מתחת זרז מתכת יש את המקסימוםריכוז חורים, לכןחִמצוּןוהתמוססות של Si מתרחשת בעדיפות מתחת לזרז מתכות.
יעילות המרת אנרגיה סולארית נמצא מוגברת כאשר SiNWs עםיחס גובה-רוחב גבוהמועסקים על פני הקרנת האור.
1 מצב פני השטח
פָּרָמֶטֶר | תהליך | השתקפות |
צד קדמי | ||
מצב פני השטח | מַתֶכֶת תחריט כימי מסייע | נָמוּך |
הצד האחורי | ||
מצב פני השטח | מלוטש או מרקם | גבוה או נמוך |
2 תכונות חומריות
תכונה | מִפרָט | שיטת פיקוח |
שיטת צמיחה | התמצקות כיוונית | XRD |
גבישות | רב-גבישי | טכניקות צריבה מועדפות(ASTM F47-88) |
סוג מוליכות | סוג P | Napson EC-80TPN P/N |
דופנט | בּוֹר | - |
ריכוז חמצן [Oi] | ≦1E+17 ב / ס"מ3 | FTIR (ASTM F121-83) |
ריכוז פחמן [Cs] | ≦1E+18 ב / ס"מ3 | FTIR (ASTM F123-91) |
3 תכונות חשמליות
תכונה | מִפרָט | שיטת פיקוח |
הִתנַגְדוּת סְגוּלִית | 0.5-2 Ωcm (לאחר חישול) | מערכת בדיקת רקיק |
MCLT (אורך חיי מיעוט) | ≧2 μs | סינטון QSSPC |
4 גֵאוֹמֶטרִיָה
תכונה | מִפרָט | שיטת פיקוח |
גֵאוֹמֶטרִיָה | ריבוע או מלבן | מערכת בדיקת רקיק |
צורת קצה שפוע | קַו | מערכת בדיקת רקיק |
גודל רקיק (אורך צד * אורך צד) | 156 מ"מ * 156 מ"מ 157 מ"מ * 186 מ"מ 166 מ"מ * 166 מ"מ | מערכת בדיקת רקיק |
זווית בין הצדדים הסמוכים | 90±3° | מערכת בדיקת רקיק |
תגיות פופולריות: משטח סיליקון שחור סוג רקיק סולארי גבישי כולל 166 מ"מ * 166 מ"מ, סין, ספקים, יצרנים, מפעל, תוצרת סין








